半導体の製造過程で使われる検査、測定装置の開発、製造を手掛けるナノシステムソリューションズ(うるま市、芳賀一実代表)が19日までに、半導体チップの材料となるシリコンウエハーの欠陥を製造工程中でも調べることができる高性能検査装置を開発した。